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半导体废气处理解决方案

时间:2018-05-22 点击次数:1331


 

半导体废气处理解决方案

半导体废气处理介绍
半导体制造工艺业需要多种特殊气体,大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体等,这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用,产生的废气通过排风系统收集并处理,如果没有经过很好的处理就进行排放的话,不仅影响人的身体健康还恶化大气环境。

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